半导体前端工艺：第六篇（完结篇）：金属布线 —— 为半导体注入生命的连接 judy-- 周一, 03/27/2023 - 14:36 在前几篇文章中，我们详细讲解了氧化、光刻、刻蚀、沉积等工艺。经过上述工艺，晶圆表面会形成各种半导体元件
