第3讲:SiC的晶体结构
judy-- 周三, 08/07/2024 - 10:22
本篇章带你了解SiC的晶体结构及其可能存在的晶体缺陷。
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三菱电机从事SiC器件开发和应用研究已有近30年的历史,从基础研究、应用研究到批量商业化,从2英寸、4英寸晶圆到6英寸晶圆
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