2023年10月30日，浙江星曜半导体有限公司正式发布基于TF-SAW工艺的高性能Band 7、Band 26、Band 8双工器和车规级2.4GHz Wi-Fi滤波器，四款产品总体性能全面达到国际一流水准。这是星曜半导体继发布TF-SAW Band 2、Band 3、Band 20、Band 25、Band 28F、Band 1+Band 3、Wi-Fi（消费级）等重要产品后，又一次填补国内空白的力作。该次发布的产品，采用了星曜公司全新一代的增强版TF-SAW技术，在产品性能和稳定性上又迈上一个新台阶。星曜半导体坚持走高端产品自主研发路线，不断增强核心领域技术水平，在TF-SAW高性能滤波器研发及其产业化技术方面具备持续领先的水平，目前已经可以全面、稳定、大量地提供国际一流性能的滤波器（包括四工器、双工器及TRx滤波器）芯片。
TF-SAW 高性能 Band 7 双工器
针对Band 7双工器芯片，星曜半导体本次同时发布了两种通用封装尺寸：标准化尺寸1.8mm x1.4mm和小型化尺寸1.6mm x 1.2mm。发射工作频率为2500 ~ 2570MHz，接收工作频率为2620 ~ 2690MHz。
Fig.1. 星曜半导体 TF-SAW Band 7 双工器实拍图（上：1814尺寸，下：1612尺寸）
本次发布的Band 7双工器芯片采用了星曜半导体自主研发的新一代增强版TF-SAW技术，极大的提升了谐振器的Q值（与BAW谐振器Q相当甚至更好），能够满足无线通信中带外陡降和抑制的高要求。经测试（参见Fig.2），该款Band 7双工器Tx通带插损典型值小于1.7dB、Rx通带插损典型值小于1.8dB，在Tx与Rx频段隔离均大于60dB，综合性能达到国际领先水准。TF-SAW的特殊工艺设计有效解决了传统SAW滤波器技术存在频率随工作温度漂移的问题，TCF温漂系数仅为-10ppm/℃。另外，其耐受功率可达到+30dBm，能够满足目前移动通信的发射功率需要。
Fig.2. 星曜半导体 TF-SAW Band 7 双工器测试性能（a）TX Passband；（b）RX Passband；(c) TRX Passband; (d) Isolation
TF-SAW 高性能 Band 26 双工器
星曜半导体本次发布的Band 26双工器芯片，封装尺寸为1.8mm x 1.4mm，采用高性能的TF-SAW工艺，其谐振单元Q值远超过TC-SAW。发射工作频率为814 ~ 849MHz，接收工作频率为859 ~ 894MHz，发射通道与接收通道的工作频率间隔仅10MHz。
Fig.3. 星曜半导体 TF-SAW Band 26 双工器实拍图
本产品运用了星曜公司的超高Q值TF-SAW谐振器技术，将传统的normal SAW谐振器Q值从1000提升到了3500，同时还极大的抑制了通带及周边的杂波，使得Band 26双工器能够满足带外陡降的高要求并且拥有更好的通带性能。其带内插损、带外抑制表现优异，Tx通带插损典型值小于1.2dB，Rx通带插损典型值小于1.5dB，在Tx频段隔离均大于55dB，在Rx频段隔离均大于58dB，综合性能达到国际一线大厂产品水准。依赖于TF-SAW的特殊工艺设计，可以有效地将电极产生的热量散发到基板上，低 TCF 和高散热的综合效应使滤波器在高工作温度下的响应稳定，有效解决了传统SAW滤波器技术存在频率随工作温度漂移的问题，本次发布的Band 26 双工器的TCF温漂系数仅为-10ppm/℃。另外，其耐受功率可达到+30dBm，能够满足目前移动通信的发射功率需要。测试数据如下：
Fig.4. 星曜半导体 TF-SAW Band 26 双工器测试性能（a）TX Passband；（b）RX Passband；(c) TRX Passband; (d) Isolation
TF-SAW 高性能 Band 8 双工器
星曜半导体本次发布的Band 8双工器芯片，封装尺寸为1.8mm x 1.4mm，采用TF-SAW技术路线和星曜公司自研的EDA开发软件平台及众多特有的专利技术。发射工作频率为880 ~ 915MHz，接收工作频率为925 ~ 960MHz。
Fig.5. 星曜半导体 TF-SAW Band 8 双工器实拍图
高Q值的TF-SAW滤波器能够满足带外陡降的高要求。与此同时，高Q值也带来了更好的无源性能，带内插损、带外抑制表现优异，Tx通带插损典型值小于1.3dB, Rx通带插损典型值小于1.7dB，在Tx频段隔离大于55dB，在Rx频段隔离均大于57dB，综合性能已经达到国际一流水准，与美日顶尖滤波器或射频公司同款产品性能持平。测试数据如下Fig.6。
Fig.6. 星曜半导体 TF-SAW Band 8 双工器测试性能（a）TX Passband；（b）RX Passband；(c) TRX Passband; (d) Isolation
TF-SAW 车规级 2.4GHz Wi-Fi 滤波器
本次星曜半导体还重磅发布了适用于车规场景的2.4GHz Wi-Fi滤波器，涵盖两种通用封装尺寸：1.4mm x 1.1mm和1.1mm x 0.9mm。相较于常规消费类滤波器，具备更高的可靠性、稳定性、使用寿命及工作温度，同时兼具更强的静电防护能力，符合AEC-Q200标准的要求,充分体现了国产芯片技术能力的关键突破和重大跨越。
Fig.7. 星曜半导体 TF-SAW 车规级 2.4GHz Wi-Fi 滤波器实拍图（上：1411尺寸，下：1109尺寸）
两款滤波器均采用了星曜自主创新的高频、高Q值TF-SAW谐振器技术和新型滤波器电路结构，大幅度提升了滤波器的带外抑制程度和边缘滚降系数。优异的近边带抑制能力，使得2.4G-WiFi与B40/B7/B41的共存干扰的问题得到进一步优化，通带插损典型值小于1.5dB，在带外LTE Band 40的抑制超过50dB, 在带外5G n41抑制超过50dB，综合性能已经达到国际一流水准。依赖于TF-SAW工艺的特殊设计，实现了优秀的器件TCF、静电承受能力和承受大功率能力，温漂系数~8ppm/℃，熔断功率可达到34dBm，让器件在极低温/极高温的工作环境中性能更加稳定，更加契合部分客户严苛的适用场景。
Fig.8. 星曜半导体 TF-SAW 车规级 Wi-Fi 滤波器测试性能（a）TRX Passband；（b）TRX Narrowband Attenuation；(c) TRX Wideband Attenuation
TF-SAW滤波器这类高阶射频器件作为星曜企业的“杀手级”产品，经过3年的产品密集开发，星曜公司已自主研发完成TF-SAW全频段系列滤波器，一系列的重点频段双工器、滤波器已完成大批量量产的高质量交付，TF-SAW产品总体出货量已经达到国内最高。星曜针对TF-SAW特色工艺，已和衬底厂商签署长期供货协议并达成深度合作，定制化开发各类衬底材料，产品应用覆盖范围从600MHz到2.7GHz, 能够全面适应通信频段的全方位要求，未来将继续推出更多不同频段、不同应用场景的TF-SAW滤波器产品。
Fig.9. 星曜半导体TF-SAW量产产品列表
星曜半导体坚持做驰而不息的实干者，凭借技术创新能力奋楫笃行，已逐步发展成国产射频芯片行业的中流砥柱。星曜半导体将一直坚持自主研发的技术创新理念，主动突破行业内的尖端产品，执着于做射频前端的赛道引领者，为射频行业的国产突破厚植根基，带来更多便捷易用、性能卓越的射频前端解决方案。
关于星曜半导体
浙江星曜半导体有限公司成立于2020年11月（前身是浙江信唐智芯科技有限公司），是一家专注于射频滤波器芯片和射频前端模组的研发、生产和销售的高科技企业。公司总部位于温州，在上海、成都、深圳、西安、苏州均设有研发或销售中心。星曜半导体公司由国家海外引才计划专家、浙江省鲲鹏行动计划专家领衔创办，公司核心研发人员均毕业于国内外知名高校且拥有国内外顶尖射频滤波器或射频芯片公司（Qualcomm、Apple、Qorvo、Skyworks、TDK等）多年工作经验，曾研发出多款芯片成功量产应用在苹果、三星等品牌旗舰机型。星曜半导体技术团队在基础理论、设计、工艺、封装、测试、量产等技术领域积累了丰富的理论和工程实践经验。
星曜半导体坚持以市场需求为导向、以核心技术为支撑的产品开发理念，不断深化产品线布局，一直坚持走高端稀缺的研发路线，主动选择和攻克国际厂商同样面对的技术难题，让射频芯片的国产化不再是低端的代名词。在星曜领衔研发的多种高性能滤波器技术和产品中，诸如TF-SAW滤波器技术和产品、高频5G BAW n78/n79/WiFi 6E滤波器技术和产品，都率先在国内填补了空白，并且首次将国产滤波器的性能推到和国际一流厂商的同一水准。星曜在射频滤波领域已量产几十款不同工艺（TF-SAW / SAW / BAW/ TC-SAW）的射频滤波器产品，持续不断地为客户提供丰富的、可靠的、高性能的射频滤波解决方案。依托大量的自主知识产权积累，打造高端的研发路线和技术壁垒，相当一部分产品的性能达到国际顶尖水平，获得了行业内众多品牌客户的广泛。目前星曜在双工器和发射滤波器产品领域，已累计出货超过数亿颗，客户覆盖国内外众多一线品牌。
同时，星曜也执着于做射频前端的赛道引领者，主动突破行业内尖端产品，所发布的双频 GPS LFEM、DiFEM射频模组芯片产品，采用了从滤波器设计、SOI设计、模组设计方案到生产制造工艺在内的一系列自有专利技术。未来将陆续发布5G LFEM接收模组、发射模组（PAMiD / L-PAMiD / PAMiF/ L-PAMiF等），以及针对物联网/模块应用的模组芯片产品。
最后，星曜在追求高端的芯片研发设计之外，还在芯片制造和工艺方面积极布局，以形成完整的研发、设计、制造、封装、测试等垂直整合能力。日前，星曜公司筹建的5G射频滤波器晶圆厂项目，已签约落户温州湾新区并启动主体动工，计划总投资7.5亿元，规划用地面积约100亩。该项目将实现星曜射频滤波器芯片从自主设计到自主生产的重要一环，助力确保稳定产能。相信在芯片设计、制造每个环节的精益求精，终将助力星曜半导体持续创新，赋能行业稳步发展。
来源：星曜半导体